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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Lithographic Resist Materials Chemistry

    Beteiligte:

    Reichmanis, E. (Autor:in) / Novembre, A. E. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ANNUAL REVIEW OF MATERIALS SCIENCE ; 23 ; 11

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1993

    Format / Umfang:

    11 pages

    ISSN:

    0084-6600

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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