Structural characterization and thermal stability of W/Si multilayers: Fid-Bau Portal

Structural characterization and thermal stability of W/Si multilayers

Brunel, M. / Enzo, S. / Jergel, M. / Luby, S.

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Titel:

Structural characterization and thermal stability of W/Si multilayers

Beteiligte:

Brunel, M. (Autor:in) / Enzo, S. (Autor:in) / Jergel, M. (Autor:in) / Luby, S. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 8 ; 2600

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

2600 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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