Ti-silicide with improved thermal stability using silicidation through oxide on amorphous Si substrates: Fid-Bau Portal

Ti-silicide with improved thermal stability using silicidation through oxide on amorphous Si substrates

Hwang, Y. S. / Paek, S. H. / Kang, S. G. / Cho, H. C.

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Titel:

Ti-silicide with improved thermal stability using silicidation through oxide on amorphous Si substrates

Beteiligte:

Hwang, Y. S. (Autor:in) / Paek, S. H. (Autor:in) / Kang, S. G. (Autor:in) / Cho, H. C. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE LETTERS ; 12 ; 1726

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

1726 pages

ISSN:

0261-8028

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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