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Titel:

Analysis of Buried Nitride Layers Produced by Ion Implantation

Beteiligte:

Froese, D. (Autor:in) / Kollewe, D. (Autor:in) / Hoffmann, M. J. / Becher, P. F. / Petzow, G.

Erschienen in:

Silicon Nitride 93 ; 749

KEY ENGINEERING MATERIALS

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

749 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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