Zirconium dioxide thin films deposited by ALE using zirconium tetrachloride as precursor: Fid-Bau Portal

Zirconium dioxide thin films deposited by ALE using zirconium tetrachloride as precursor

Ritala, M. / Leskelae, M.

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Titel:

Zirconium dioxide thin films deposited by ALE using zirconium tetrachloride as precursor

Beteiligte:

Ritala, M. (Autor:in) / Leskelae, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 75 ; 333

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

333 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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