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Ion Assisted Thin Film Growth in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas

Martinu, L. / Wertheimer, M. R.

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Titel:

Ion Assisted Thin Film Growth in Dual Microwave/Radio Frequency Plasmas

Beteiligte:

Martinu, L. (Autor:in) / Wertheimer, M. R. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 405

Erscheinungsdatum:

01.01.1993

Format / Umfang:

405 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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