Rapid Thermal Annealing of Ion Implanted Strained Si~1~-~xGe~x: Fid-Bau Portal

Rapid Thermal Annealing of Ion Implanted Strained Si~1~-~xGe~x

Thomsen, E. V. / Nylandsted Larsen, A. / Hansen, J. L. / Kringhoej, P.

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Titel:

Rapid Thermal Annealing of Ion Implanted Strained Si~1~-~xGe~x

Beteiligte:

Thomsen, E. V. (Autor:in) / Nylandsted Larsen, A. (Autor:in) / Hansen, J. L. (Autor:in) / Kringhoej, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 513

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

513 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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