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Parametric study of the chemical vapour deposition of carbon-boron-nitrogen compounds

Derre, A. / Filipozzi, L. / Bouyer, F. / Marchand, A.

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Titel:

Parametric study of the chemical vapour deposition of carbon-boron-nitrogen compounds

Beteiligte:

Derre, A. (Autor:in) / Filipozzi, L. (Autor:in) / Bouyer, F. (Autor:in) / Marchand, A. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 29 ; 1589

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

1589 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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