Terrace growth and polytype development in epitaxial �-SiC films on �-SiC (6H and 15R) substrates: Fid-Bau Portal

Terrace growth and polytype development in epitaxial -SiC films on -SiC (6H and 15R) substrates

Chien, F. R. / Nutt, S. R. / Yoo, W. S. / Kimoto, T.

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Titel:

Terrace growth and polytype development in epitaxial -SiC films on -SiC (6H and 15R) substrates

Beteiligte:

Chien, F. R. (Autor:in) / Nutt, S. R. (Autor:in) / Yoo, W. S. (Autor:in) / Kimoto, T. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 9 ; 940

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

940 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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