Hydrogen Implantation in III-V Compound Semiconductors and its Redistribution with Annealing: Fid-Bau Portal

Hydrogen Implantation in III-V Compound Semiconductors and its Redistribution with Annealing

Zavada, J. M. / Wilson, R. G.

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Titel:

Hydrogen Implantation in III-V Compound Semiconductors and its Redistribution with Annealing

Beteiligte:

Zavada, J. M. (Autor:in) / Wilson, R. G. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 189

Erscheinungsdatum:

01.01.1994

Format / Umfang:

189 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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