Hydrogen redistribution and enhanced thermal donor formation at post implantation annealing of p-type hydrogen implanted Czochralski silicon: Fid-Bau Portal

Hydrogen redistribution and enhanced thermal donor formation at post implantation annealing of p-type hydrogen implanted Czochralski silicon

Ulyashin, A. G. / Ivanov, A. I. / Khorunzhii, I. A. / Job, R. / Fahrner, W. R. / Komarov, F. F. / Kamyshan, A. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Hydrogen redistribution and enhanced thermal donor formation at post implantation annealing of p-type hydrogen implanted Czochralski silicon

Ulyashin, A. G. / Ivanov, A. I. / Khorunzhii, I. A. / Job, R. / Fahrner, W. R. / Komarov, F. F. / Kamyshan, A. C.

Hydrogen redistribution and enhanced thermal donor formation at post implantation annealing of p-type hydrogen implanted Czochralski silicon

Ulyashin, A. G. / Ivanov, A. I. / Khorunzhii, I. A. / Job, R. / Fahrner, W. R. / Komarov, F. F. / Kamyshan, A. C.

Zugriff

Zugriff über TIB

Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

Bestellung bei Subito €

Seitennavigation

Dokumentinformationen

Ähnliche Titel

Exportieren, teilen und zitieren

Dokumentinformationen

Titel:

Hydrogen redistribution and enhanced thermal donor formation at post implantation annealing of p-type hydrogen implanted Czochralski silicon

Beteiligte:

Ulyashin, A. G. (Autor:in) / Ivanov, A. I. (Autor:in) / Khorunzhii, I. A. (Autor:in) / Job, R. (Autor:in) / Fahrner, W. R. (Autor:in) / Komarov, F. F. (Autor:in) / Kamyshan, A. C. (Autor:in) / Weber, J. / Mesli, A.

Erschienen in:

Symposium A Detects in Snmon Hy[?] ; 91-94

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 58

Erscheinungsdatum:

01.01.1999

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

Ulyashin, A. G. / Ivanov, A. I. / Job, R. et al. | British Library Online Contents | 2000

Characterization of the oxygen distribution in Czochralski silicon using hydrogen-enhanced thermal donor formation

Ulyashin, A. G. / Khorunzhii, I. A. / Job, R. et al. | British Library Online Contents | 2000

Thermal donor formation in direct-plasma hydrogenated n-type Czochralski silicon

Simoen, E. / Claeys, C. / Rafi, J. M. et al. | British Library Online Contents | 2006

Hydrogen Implantation in III-V Compound Semiconductors and its Redistribution with Annealing

Zavada, J. M. / Wilson, R. G. | British Library Online Contents | 1994

Intentional thermal donor activation in magnetic Czochralski silicon

Tuovinen, E. / Harkonen, J. / Luukka, P. et al. | British Library Online Contents | 2007

Nach oben