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    Titel:

    Amorphous or nanocrystalline AlN thin films formed from AlN : H

    Beteiligte:

    Wang, X.-D. (Autor:in) / Hipps, K. W. (Autor:in) / Dickinson, J. T. (Autor:in) / Mazur, U. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 9 ; 1449

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    1449 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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