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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Plasma Source Ion Implantation

    Beteiligte:

    Reeber, R. R. (Autor:in) / Sridharan, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCED MATERIALS AND PROCESSES ; 146 ; 21

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    21 pages

    ISSN:

    0882-7958

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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