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Metal Plasma Source Ion Implantation Using a Pulsed Cathodic Are

Chun, S. Y.

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Titel:

Metal Plasma Source Ion Implantation Using a Pulsed Cathodic Are

Beteiligte:

Chun, S. Y. (Autor:in) / Yoon, D. Y. / Kang, S.-J. L. / Eun, K. Y. / Kim, Y.-S.

Erschienen in:

Progress in POWDER METALLURGY ; 1397-1400

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 534/536

Erscheinungsdatum:

01.01.2007

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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