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    Titel:

    Chlorine adsorption on electron beam irradiated GaAs photo-oxides: mechanism of in situ EB lithography

    Beteiligte:

    Ide, Y. (Autor:in) / Yamada, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 82/83 ; 310

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1994

    Format / Umfang:

    310 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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