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Growth of thin -SiC layers by carbonization of Si surfaces by rapid thermal processing

Cimalla, V. / Karagodina, K. V. / Pezoldt, J. / Eichhorn, G.

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Titel:

Growth of thin -SiC layers by carbonization of Si surfaces by rapid thermal processing

Beteiligte:

Cimalla, V. (Autor:in) / Karagodina, K. V. (Autor:in) / Pezoldt, J. (Autor:in) / Eichhorn, G. (Autor:in) / Fricke, K. / Krozer, V.

Erschienen in:

High Temperature Electronics: Materials Devices Applications ; 170

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 29

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

170 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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