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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Particle generation and film formation in an atmospheric-pressure chemical vapour deposition process using tetraethylorthosilicate

    Beteiligte:

    Adachi, M. (Autor:in) / Okuyama, K. (Autor:in) / Tohge, N. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 30 ; 932

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1995

    Format / Umfang:

    932 pages

    ISSN:

    0022-2461

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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