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Excimer laser ablation patterning of dielectric layers

Ihlemann, J. / Wolff-Rottke, B.

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Titel:

Excimer laser ablation patterning of dielectric layers

Beteiligte:

Ihlemann, J. (Autor:in) / Wolff-Rottke, B. (Autor:in) / Dieleman, J. / Biermann, U. K. P. / Hess, P.

Erschienen in:

Photon-Assisted Processing of Surfaces and Thin Films ; 228

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 86

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

228 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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