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Characterization of W/Si multilayers by ultrasoft x-ray emission spectroscopy

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Titel:

Characterization of W/Si multilayers by ultrasoft x-ray emission spectroscopy

Beteiligte:

Kurmaev, E. Z. et al. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 10 ; 907

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

907 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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