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    Titel:

    Real-Time Monitoring of Epitaxial Processes by Parallel-Polarized Reflectance Spectroscopy

    Beteiligte:

    Dietz, N. (Autor:in) / Bachmann, K. J. (Autor:in) / Auciello, O. / Krauss, A. R.

    Erschienen in:

    In Situ, Real-Time Characterization of Thin-Film Growth Processes ; 49

    MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 20

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1995

    Format / Umfang:

    49 pages

    ISSN:

    0883-7694

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Unbekannt

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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