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Silicon Wafer Bonding via Designed Monolayers

Steinkirchner, J. / Martini, T. / Reiche, M. / Kaestner, G.

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Titel:

Silicon Wafer Bonding via Designed Monolayers

Beteiligte:

Steinkirchner, J. (Autor:in) / Martini, T. (Autor:in) / Reiche, M. (Autor:in) / Kaestner, G. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH- ; 7 ; 662

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

662 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 620.11

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