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Atomic hydrogen-assisted ALE of germanium

Sugahara, S. / Kadoshima, M. / Kitamura, T. / Imai, S.

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Titel:

Atomic hydrogen-assisted ALE of germanium

Beteiligte:

Sugahara, S. (Autor:in) / Kadoshima, M. (Autor:in) / Kitamura, T. (Autor:in) / Imai, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 90 ; 349

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

349 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Unbekannt

Klassifikation:

DDC: 621.35

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