Ion beam synthesis of aluminium nitride: characterisation of thin AIN layers formed in microelectronics aluminium: Fid-Bau Portal

Ion beam synthesis of aluminium nitride: characterisation of thin AIN layers formed in microelectronics aluminium

Calvo-Barrio, L. / Perez-Rodriguez, A. / Romano-Rodriguez, A. / Morante, J. R. / Montserrat, J.

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Titel:

Ion beam synthesis of aluminium nitride: characterisation of thin AIN layers formed in microelectronics aluminium

Beteiligte:

Calvo-Barrio, L. (Autor:in) / Perez-Rodriguez, A. (Autor:in) / Romano-Rodriguez, A. (Autor:in) / Morante, J. R. (Autor:in) / Montserrat, J. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -LONDON- ; 11 ; 1187-1190

Erscheinungsdatum:

01.01.1995

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0267-0836

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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