Anomalous oxygen diffusivity and the early stages of silicon oxidation: Fid-Bau Portal

Anomalous oxygen diffusivity and the early stages of silicon oxidation

Cerofolini, G. F. / La Bruna, G. / Meda, L.

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Titel:

Anomalous oxygen diffusivity and the early stages of silicon oxidation

Beteiligte:

Cerofolini, G. F. (Autor:in) / La Bruna, G. (Autor:in) / Meda, L. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 36 ; 104-107

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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