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The effect of carbon on diffusion in silicon

Stolk, P. A. / Gossmann, H.-J. / Eaglesham, D. J. / Poate, J. M.

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Titel:

The effect of carbon on diffusion in silicon

Beteiligte:

Stolk, P. A. (Autor:in) / Gossmann, H.-J. (Autor:in) / Eaglesham, D. J. (Autor:in) / Poate, J. M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 36 ; 275-281

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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