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S phase coatings produced by unbalanced magnetrou sputtering

Dahm, K. L. / Dearnley, P. A.

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Titel:

S phase coatings produced by unbalanced magnetrou sputtering

Beteiligte:

Dahm, K. L. (Autor:in) / Dearnley, P. A. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 12 ; 61-67

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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