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    Titel:

    Characteristics of unbalanced magnetron sputtering systems

    Beteiligte:

    Golosov, D. A. (Autor:in) / Svadkovskii, I. V. (Autor:in) / Zavadskii, S. M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    SURFACE ENGINEERING AND APPLIED ELECTROCHEMISTRY C/C OF ELEKTRONNAIA OBRABOTKA MATERIALOV ; 56-64

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2002

    Format / Umfang:

    9 pages

    ISSN:

    1068-3755

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.44 / 660.297

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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