Direct observations of heteroepitaxial diamond on a silicon(110) substrate by microwave plasma chemical vapor deposition: Fid-Bau Portal

Direct observations of heteroepitaxial diamond on a silicon(110) substrate by microwave plasma chemical vapor deposition

Chen, C. J. / Chang, L. / Lin, T. S. / Chen, F. R.

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Titel:

Direct observations of heteroepitaxial diamond on a silicon(110) substrate by microwave plasma chemical vapor deposition

Beteiligte:

Chen, C. J. (Autor:in) / Chang, L. (Autor:in) / Lin, T. S. (Autor:in) / Chen, F. R. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 1002-1010

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

9 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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