Magnetic Field in a Commercial Sputter Magnetron: Fid-Bau Portal

Magnetic Field in a Commercial Sputter Magnetron

Murphy, M. J. / Monaghan, J. / Cameron, D. C. / Hashmi, M. S. J.

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Titel:

Magnetic Field in a Commercial Sputter Magnetron

Beteiligte:

Murphy, M. J. (Autor:in) / Monaghan, J. (Autor:in) / Cameron, D. C. (Autor:in) / Hashmi, M. S. J. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 287-294

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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