Characteristics of spin-on ferroclectric SrBi~2Ta~2O~9 thin film capacitors for ferroelectric random access memory applications: Fid-Bau Portal

Characteristics of spin-on ferroclectric SrBi~2Ta~2O~9 thin film capacitors for ferroelectric random access memory applications

Chu, P. Y. / Jones, R. E. / Zurcher, P. / Taylor, D. J. / Jiang, B. / Gillespie, S. J. / Lii, Y. T. / Kottke, M. / Fejes, P. / Chen, W.

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Chu, P. Y. / Jones, R. E. / Zurcher, P. / Taylor, D. J. / Jiang, B. / Gillespie, S. J. / Lii, Y. T. / Kottke, M. / Fejes, P. / Chen, W.

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Chu, P. Y. / Jones, R. E. / Zurcher, P. / Taylor, D. J. / Jiang, B. / Gillespie, S. J. / Lii, Y. T. / Kottke, M. / Fejes, P. / Chen, W.

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Titel:

Characteristics of spin-on ferroclectric SrBi~2Ta~2O~9 thin film capacitors for ferroelectric random access memory applications

Beteiligte:

Chu, P. Y. (Autor:in) / Jones, R. E. (Autor:in) / Zurcher, P. (Autor:in) / Taylor, D. J. (Autor:in) / Jiang, B. (Autor:in) / Gillespie, S. J. (Autor:in) / Lii, Y. T. (Autor:in) / Kottke, M. (Autor:in) / Fejes, P. (Autor:in) / Chen, W. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 1065-1068

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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