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Excimer laser machining for the fabrication of analogous microstructures

Zimmer, K. / Hirsch, D. / Bigl, F.

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Titel:

Excimer laser machining for the fabrication of analogous microstructures

Beteiligte:

Zimmer, K. (Autor:in) / Hirsch, D. (Autor:in) / Bigl, F. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 96/98 ; 425-429

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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