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Characteristics of titanium nitride films grown by pulsed laser deposition

Chowdhury, R. / Vispute, R. D. / Jagannadham, K. / Narayan, J.

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Titel:

Characteristics of titanium nitride films grown by pulsed laser deposition

Beteiligte:

Chowdhury, R. (Autor:in) / Vispute, R. D. (Autor:in) / Jagannadham, K. (Autor:in) / Narayan, J. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 1458-1469

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

12 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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