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Aluminum nitride thin films grown by plasma-assisted pulsed laser deposition

Ogawa, T. / Ooakmoto, M. / Mori, Y. / Sasaki, T.

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Titel:

Aluminum nitride thin films grown by plasma-assisted pulsed laser deposition

Beteiligte:

Ogawa, T. (Autor:in) / Ooakmoto, M. (Autor:in) / Mori, Y. (Autor:in) / Sasaki, T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 113/114 ; 57-60

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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