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Influence of different hydrocarbons on the structure of CVD-and PACVD-TiC~x hard layers

Leonhardt, A. / Wolf, E.

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Titel:

Influence of different hydrocarbons on the structure of CVD-and PACVD-TiC~x hard layers

Beteiligte:

Leonhardt, A. (Autor:in) / Wolf, E. (Autor:in) / Sarin, V. K.

Erschienen in:

Proceedings of the 5th International Conference on the Science of Hard Materials ; 389-393

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- A ; 209

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

© Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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