Charging phenomenon of insulators in negative-ion implantation: Fid-Bau Portal

Charging phenomenon of insulators in negative-ion implantation

Toyota, Y. / Tsuji, H. / Nagumo, S. / Gotoh, Y. / Ishikawa, J.

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Titel:

Charging phenomenon of insulators in negative-ion implantation

Beteiligte:

Toyota, Y. (Autor:in) / Tsuji, H. (Autor:in) / Nagumo, S. (Autor:in) / Gotoh, Y. (Autor:in) / Ishikawa, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 99 ; 360-364

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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