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Selective deposition of tungsten on ITM-CoSi~2

Kaehler, J. D. / Depta, D. / Ferretti, R.

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Titel:

Selective deposition of tungsten on ITM-CoSi~2

Beteiligte:

Kaehler, J. D. (Autor:in) / Depta, D. (Autor:in) / Ferretti, R. (Autor:in) / Gessner, T. / Schulz, S. E.

Erschienen in:

Materials for Advanced Metallization ; 339-341

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 91

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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