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    Titel:

    Determination of the Phase Composition of Thin-Film Structures for Microelectronics Using Auger Spectra

    Beteiligte:

    Beshenkov, V. G. (Autor:in)

    Erschienen in:

    INDUSTRIAL LABORATORY C/C OF ZAVODSKAIA LABORATORIIA ; 62 ; 81-85

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0019-8447

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  607.2

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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