Atomic force microscopy of laser induced sub-micrometer periodic structures on implanted fused silica and silicon: Fid-Bau Portal

Atomic force microscopy of laser induced sub-micrometer periodic structures on implanted fused silica and silicon

Bukharaev, A. A. / Janduganov, V. M. / Samarsky, E. A. / Berdunov, N. V.

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Titel:

Atomic force microscopy of laser induced sub-micrometer periodic structures on implanted fused silica and silicon

Beteiligte:

Bukharaev, A. A. (Autor:in) / Janduganov, V. M. (Autor:in) / Samarsky, E. A. (Autor:in) / Berdunov, N. V. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 103 ; 49-54

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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