Atomic force microscopy study on the surface structure of oxidized porous silicon: Fid-Bau Portal

Atomic force microscopy study on the surface structure of oxidized porous silicon

Young, T. F. / Huang, I. W. / Yang, Y. L. / Kuo, W. C. / Jiang, I. M. / Chang, T. C. / Chang, C. Y.

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Titel:

Atomic force microscopy study on the surface structure of oxidized porous silicon

Beteiligte:

Young, T. F. (Autor:in) / Huang, I. W. (Autor:in) / Yang, Y. L. (Autor:in) / Kuo, W. C. (Autor:in) / Jiang, I. M. (Autor:in) / Chang, T. C. (Autor:in) / Chang, C. Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 102 ; 404-407

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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