Influences of hydrogen on initial oxidation processes of H-terminated Si(100) surfaces: Fid-Bau Portal

Influences of hydrogen on initial oxidation processes of H-terminated Si(100) surfaces

Ikeda, H. / Hotta, K. / Furuta, S. / Zaima, S. / Yasuda, Y.

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Titel:

Influences of hydrogen on initial oxidation processes of H-terminated Si(100) surfaces

Beteiligte:

Ikeda, H. (Autor:in) / Hotta, K. (Autor:in) / Furuta, S. (Autor:in) / Zaima, S. (Autor:in) / Yasuda, Y. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 104/105 ; 354-358

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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