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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Etching of polycrystalline diamond films by electron beam assisted plasma

    Beteiligte:

    Kobashi, K. (Autor:in) / Miyauchi, S. (Autor:in) / Miyata, K. (Autor:in) / Nishimura, K. (Autor:in) / Rocca, J. J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH- ; 11 ; 2744-2748

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0884-2914

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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