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Modeling of silicon atomic-layer-epitaxy

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Titel:

Modeling of silicon atomic-layer-epitaxy

Beteiligte:

Sugahara, S. (Autor:in) / Hasunuma, E. (Autor:in) / Imai, S. (Autor:in) / Matsumura, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 107 ; 161-171

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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