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Study on crystallization of hydrogenated nanocrystalline silicon carbon films

Han, W. / Fan, S. / Gu, B.

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Titel:

Study on crystallization of hydrogenated nanocrystalline silicon carbon films

Beteiligte:

Han, W. (Autor:in) / Fan, S. (Autor:in) / Gu, B. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING -LAUSANNE- B ; 41 ; 357-361

Erscheinungsdatum:

01.01.1996

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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