Crystallization of hydrogenated amorphous silicon-carbon films by means of laser treatments: Fid-Bau Portal

Crystallization of hydrogenated amorphous silicon-carbon films by means of laser treatments

Ambrosone, G. / Coscia, U. / Lettieri, S. / Maddalena, P. / Minarini, C. / Parisi, V. / Schutzmann, S.

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Titel:

Crystallization of hydrogenated amorphous silicon-carbon films by means of laser treatments

Beteiligte:

Ambrosone, G. (Autor:in) / Coscia, U. (Autor:in) / Lettieri, S. (Autor:in) / Maddalena, P. (Autor:in) / Minarini, C. (Autor:in) / Parisi, V. (Autor:in) / Schutzmann, S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 247 ; 471-476

Erscheinungsdatum:

01.01.2005

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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