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    Titel:

    A Path to Nanolithography

    Beteiligte:

    Cerrina, F. (Autor:in) / Marrian, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 21 ; 56-62

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1996

    Format / Umfang:

    7 pages

    ISSN:

    0883-7694

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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