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Chemical Nanolithography with Electron Beams

Golzhauser, A. / Eck, W. / Geyer, W. / Stadler, V. / Weimann, T. / Hinze, P. / Grunze, M.

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Titel:

Chemical Nanolithography with Electron Beams

Beteiligte:

Golzhauser, A. (Autor:in) / Eck, W. (Autor:in) / Geyer, W. (Autor:in) / Stadler, V. (Autor:in) / Weimann, T. (Autor:in) / Hinze, P. (Autor:in) / Grunze, M. (Autor:in)

Erschienen in:

ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 13 ; 806-809

Erscheinungsdatum:

01.01.2001

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0935-9648

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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