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Implantation and Dry Etching of Group-III-Nitride Semiconductors

Zolper, J. C. / Shul, R. J.

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Titel:

Implantation and Dry Etching of Group-III-Nitride Semiconductors

Beteiligte:

Zolper, J. C. (Autor:in) / Shul, R. J. (Autor:in)

Erschienen in:

MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 22 ; 36-43

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0883-7694

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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