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Ablation of submicron structures on metals and semiconductors by femtosecond UV-laser pulses

Simon, P. / Ihlemann, J.

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Titel:

Ablation of submicron structures on metals and semiconductors by femtosecond UV-laser pulses

Beteiligte:

Simon, P. (Autor:in) / Ihlemann, J. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 109/110 ; 25-29

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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