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AlN thin films deposition by laser ablation of Al target in nitrogen reactive atmosphere

Verardi, P. / Dinescu, M. / Gerardi, C. / Mirenghi, L. / Sandu, V.

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Titel:

AlN thin films deposition by laser ablation of Al target in nitrogen reactive atmosphere

Beteiligte:

Verardi, P. (Autor:in) / Dinescu, M. (Autor:in) / Gerardi, C. (Autor:in) / Mirenghi, L. (Autor:in) / Sandu, V. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 109/110 ; 371-375

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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