VUV light-induced decomposition of palladium acetate films for electroless copper plating: Fid-Bau Portal

VUV light-induced decomposition of palladium acetate films for electroless copper plating

Zhang, J.-Y. / King, S. L. / Boyd, I. W. / Fang, Q.

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Titel:

VUV light-induced decomposition of palladium acetate films for electroless copper plating

Beteiligte:

Zhang, J.-Y. (Autor:in) / King, S. L. (Autor:in) / Boyd, I. W. (Autor:in) / Fang, Q. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 109/110 ; 487-492

Erscheinungsdatum:

01.01.1997

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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